比现在的光刻机霸主尼康丶佳能,都率先突破193纳米的制程,老实说,林泍坚心头也没底,这条路如果好走的话,IBM当初也不会直接放弃了,去搞什麽X光微影技术。
「但不到最后,谁又敢说,深紫外光DUV,不会成为最后的赢家呢?」李东陵看着林泍坚说道。
林泍坚闻言,无奈苦笑一声,「但成本太高了,要证明这条路是否正确,可能要投入数以亿计的美元,而如果失败,那可能全都打了水漂!」
「可不尝试,谁又知道,是否能成?」
林泍坚这时候,神情已经有些意动了,李东陵愿意支持他的DUV项目,那说不得,真能弥补职业生涯的遗憾。
但有东芯半导体愿意买单,也不意味着,真就高枕无忧了,如果研发失败,巨额的研发费用打了水漂,那林泍坚可以说是要晚节不保了。
李东陵看到林泍坚,还带着几分犹豫不决的神色,再度放出一个大招。
「林博士,我并非是光刻机跟晶片行业的专业人士,所言只是异想天开,林博士只当听个笑话罢了。
现在不论是哪种光源的光刻机技术,离子投射丶ArF丶X光丶DUV等,都属于以空气为媒介的乾式光刻机,但如果把空气,换成水或者其它媒介呢……」
李东陵对于光刻机确实不是行家,但前世光刻机的传闻,多少有所耳闻,而其中最有名的,莫过于使用水作为光刻机的媒介,通过水的折射,将光源缩短投印在电路上。
听到李东陵的话,林泍坚刚开始,还只是一笑了之,随后面容变的越来越严肃。
李东陵的意思,林泍坚当然听的明白,乍一听,感觉似乎有些不靠谱,作为从业了一辈子的老炮,他可以找出李东陵这方法的各种漏洞,譬如使用水做媒介,会不会产生气泡,会不会污染设备,还有防水丶水会发热膨胀丶蒸发丶影响精确度等各种问题。
但这些问题之外呢,林泍坚猛然想到,按照这套方法,是真有希望,把193纳米的光源,通过水的折射,直接变成134纳米的光源,从而一举绕过193纳米的天堑!
林泍坚心头跳动,猛然加快了几分,这套方法,理论上是可行的,哪怕它只是理论上的,至于那些问题,都有希望被解决!
「这也许就是当局者迷旁观者清,整个半导体行业,这些年来,都被传统思维禁锢住了!
李总,你是个天才,如果你当年选的是半导体行业,绝对能做出让人震惊的成绩!」林泍坚看向李东陵时,眼神都有些变了。
李东陵摇了摇头,「我只是胡言而已,林博士当不得真!」
「这条路,确实是可以尝试的,理论上,改变空气媒介,确实是能缩小光源!」林泍坚认真的说道,起码这条理论,是让他心动了。
「如果林博士愿意加入东芯半导体,东芯半导体,愿意全力支持,以DUV的技术,对这条理论进行研发!」
李东陵到了这会,也是开始亮牌,「东芯半导体愿意为林博士,提供五十万美元的年薪,另外转让2%的股权给林博士!
林博士到了东芯半导体,担任晶片生产厂跟光刻机项目的总工程师,人事跟研发项目,都由林博士来决定!」
李东陵这是相当于,将东芯半导体的晶片生产基地丶光刻机项目,都交给了林泍坚,这比起对林泍坚扣扣搜搜的IBM来,对于林泍坚,已经是展现出足够的诚意了。
「我……」
这时候,林泍坚早已经是心动了,但话到了嘴边,还是带着几分歉意,向李东陵说道,「我需要跟家里夫人商量一下!」
李东陵早就听闻林泍坚夫妇伉俪情深的传闻,「当然,如果林夫人还有林博士家人,愿意一起去内陆的话,工作跟生活方面,就东芯半导体跟东陵高科都可以进行安排!」
(本章完)